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【曝光前異物檢查機】 |
•用來檢測玻璃或者平整面上的Particle，因應產品特性可有效檢出玻璃、金屬表面Particle，並搭配自行研發演算法軟體，有效降低光罩刮傷風險。
•採用高精度氣浮平台來達到檢測物傳送的平整度及降低傳送時高低振幅，以確保Laser sensor或者CCD有效檢出能力。
•有效檢測能力依檢測物大小而訂，最小可檢出100~200um的particle
•各大面板廠均有實績可參考